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半導體專用充氮烘箱

半導體專用充氮烘箱

典型產品:半導體專用帶充氮鼓風烘箱
產品型號:SGTG-FC-120N
主要技術參數指標(該性能指標可在環境溫度為+5~+35℃測定):
1.結構:
    1.1 工作室尺寸:高1000mm 寬1100mm 深1000mm;
    1.2 外形尺寸:見圖紙;
    1.3 風道間距:60mm;
    1.4 保溫層厚度:90mm;
    1.5 配置支撐腳及滾輪,高度:100mm;
    1.6 加熱管位置:背部;
    1.7 鼓風電機位置:背部;
    1.8 進風口位置:右側;
    1.9 出風口位置:頂部,配調節閥;
    1.10 工作室內運風方式:水平送風;
    1.12 箱內分層:分2層,配置沖孔不銹鋼層板;
    1.13 開門方式:雙開門,杠桿式門扣;
    1.14 控制箱位置:右側;
    1.15 充氮口位置:電器箱背部;

2.主要性能:
    2.1 工作溫度范圍:室溫+15℃~200℃;
    2.2 控溫精度:±0.2℃;
    2.3 溫度波動度:≤±1℃;
    2.4 溫度均勻性:≤±3℃;
    2.5 升溫時間:≤40分鐘(空箱,25℃~200℃);
    2.6 控溫方式:PID調節,SSR模塊控制;
    2.7 可編程控溫:8段可編程數顯溫控儀;
    2.8 定時范圍:1分鐘~99小時99分鐘;設定時間到提示工人開門散熱冷卻;
    2.9 箱外表面溫度:≤室溫+25℃;
    2.10 配置充氮裝置,設置自動或手動充氮開關;自動充氮由高溫濕度測定儀控制,達不到濕度控制電磁閥打開充氮;手動充氮由手動打開電磁閥
    2.11 氮氣流量:10~70L/min

3.電氣容量: 
    3.1 電源:AC380V  3相4線  50Hz
    3.2 加熱功率:20KW;
    3.3 鼓風功率:750W*2
    3.4 最大電流:30A
    3.5 空氣開關容量:60A

4.保安裝置:
    4.1空氣開關(防止過流和短路)
    4.2風機過熱保護(保護送風機,防止風機溫度過高)
    4.3過流保護(防止電流過高)
    4.4超溫保護(防止工作室溫度過高,保護產品)
    4.5設定時間未到設定溫度報警